IDE 環境コントロール & オートメーション

IDEグループは計量、リソグラフィ、医療システムの遮音性、そし て、超精密モーションコントロー ルの分野における環境コントロールに関連するアクティブおよびパッ シブ防振装置、EMI のアクティブ補正装置、ウェーハおよびマスクハンドリング用ロボット、半導体製 造装置メーカ用装置プラットフォーム及びEFEMs を研究開発し、製造する世界的リーダーです。

ユニークなアクティブおよびパッシブ除振ユニットを始め、IDE は、 計量・計器開発における最も要 求の高い業界向けのソリューション製品の配列を拡大して来ました。

 


 

Exhibitions 2017:

 

 

MMC 2017, Manchester, England
July 3-6, 2017
Booth 721

 

Visit IDE in the Silicon Saxony Pavillion
July 11-13, 2017
Moscone Center, San Francisco
Booth 6367