IDE 環境コントロール & オートメーション

IDEグループは計量、リソグラフィ、医療システムの遮音性、そし て、超精密モーションコントロー ルの分野における環境コントロールに関連するアクティブおよびパッ シブ防振装置、EMI のアクティブ補正装置、ウェーハおよびマスクハンドリング用ロボット、半導体製 造装置メーカ用装置プラットフォーム及びEFEMs を研究開発し、製造する世界的リーダーです。

ユニークなアクティブおよびパッシブ除振ユニットを始め、IDE は、 計量・計器開発における最も要 求の高い業界向けのソリューション製品の配列を拡大して来ました。

 


 

Exhibitions 2018:


SemiconEuropa

Munich, Germany
Booth No. A4.368

November 13-16, 2018


Precision Fair 2018

Veldhoven, Netherlands

November 14-15, 2018

MRS Fall Meeting 2018
Boston, MA, USA

November 25-30, 2018

SemiconJapan
Tokyo Big Sight, Japan
German Pavillon  Booth No. 1912

December 12-14, 2018