IDE 環境コントロール & オートメーション

IDEグループは計量、リソグラフィ、医療システムの遮音性、そし て、超精密モーションコントロー ルの分野における環境コントロールに関連するアクティブおよびパッ シブ防振装置、EMI のアクティブ補正装置、ウェーハおよびマスクハンドリング用ロボット、半導体製 造装置メーカ用装置プラットフォーム及びEFEMs を研究開発し、製造する世界的リーダーです。

ユニークなアクティブおよびパッシブ除振ユニットを始め、IDE は、 計量・計器開発における最も要 求の高い業界向けのソリューション製品の配列を拡大して来ました。

 


 

Exhibitions 2019:


SEMICON China

Shanghai, China
New International Expo Centre
March 20 - 22, 2019


mmc 2019

Manchester, England
Manchester Central
Booth 703
July 1 - 4, 2019

 

Microscopy & Microanalysis 2019

Portland, Oregon
Portland Convention Center
Booth 613
August 5 - 8, 2019